Reticle Stocker

Capacity : ＞ 1000EA

항목	특징(사양)
Model	IRS-1000
Capacity	＞ 1000(Nikon Reticle Case )
MES/SW	MES 연동 가능, 사용자 편의성 고려한 User Interface 적용 Reticle 정보 Reset 기능, Host와 통신 가능
Bar-Code	유선 or 무선 Type Barcode Reader
Auto Indicator	Laser를 이용한 In & Out Reticle Visual Position Tracking Function
Auto Step On / Off	발판을 스위치로 On/OFF 할 수 있는 기능
Tracking Function & Reticle Search	최근 Loading/Unloading Reticle List 조회 기능 (20개 이상) Reticle Search 기능으로 원하는 Reticle을 바로 찾는 기능
Fast In & out function	한꺼번에 여러 개의 Reticle을 Reading 후, In & out 하는 기능
Particle protection	All Columns and Slots Grinding 및 Micro Polishing Chemical Filter 설치, Particle 및 NH3, Acid(Sox , Nox) 성분 제거
장비 크기	1800mm(W) X 1800mm(D)